1、sccm是体积流量单位。
2、体积流量：气体体积流量系指单位时间输送管道中流过的气体体积。气体体积有工作状态下体积和标准状态下体积之分，它们都是指在某个压力和某个温度情况下的体积，后者是指压力为一个标准大气压、温度为０℃（或２０℃）时的气体体积。标准状态温度多数指０℃，仅在某些场合，例如鼓风机的流量，因多指风机的入口状态，所以标准状态温度采用的是２０℃。由于使用工作状态流量参数时，需说明相应的工作温度和压力，这样比较麻烦，并且在人们的脑海中不容易建立一个量的概念，因此，在工程中常使用标准状态流量作为测量标准。既然气体的体积流量是指标准温度和压力下的流量，那么，当介质温度和压力偏离设定状态时，仪表测量的示值就会产生变化。