(12)发明专利申请
(21)申请号 CN201310320709.5 (22)申请日 2013.07.26
(71)申请人 常州强力先端电子材料有限公司
地址 213159 江苏省常州市武进区武澄工业园
(10)申请公布号 CN1033621A
(43)申请公布日 2013.11.13
(72)发明人 钱晓春;钱彬;胡春青;王兵;李军
(74)专利代理机构 北京金智普华知识产权代理有限公司
代理人 杨采良
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
一种磺酸肟酯类光产酸剂
(57)摘要
本发明公开一种如通式(I)所示的磺酸
肟脂类光产酸剂,感光性能优异,可以很好地与i线和h线光源匹配,具有很高的感光灵敏度,性能明显优于现有的光产酸剂产品。
法律状态
法律状态公告日
2013-11-13 2013-12-04
公开
实质审查的生效
法律状态信息
公开
法律状态
实质审查的生效
法律状态公告日
2016-03-16
授权
法律状态信息
授权
法律状态
权利要求说明书
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说明书
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