一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法及系统[发明专利]

来源：星星旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法及系

统

专利类型：发明专利发明人：梁晨,周丕轩

申请号：CN2015100696.7申请日：20150210公开号：CN104655046A公开日：20150527

摘要：本发明揭示了一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法和系统，在反射中，由横向位于共路干涉仪光轴上的衍射元件形成两个衍射光束(具有不同的衍射级项)。第一衍射光束保持了照射到衍射元件上的波阵面，第二衍射光束具有与被测表面相对应的波阵面。第一衍射光束可以被猫眼装置中的表面反射，第二衍射光束可以被共聚焦平面的表面反射。待测的表面可以被调整来平衡反射到表面的第一衍射光束和第二衍射光束的强度。

申请人：帝麦克斯(苏州)医疗科技有限公司

地址：215000 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A5楼305室

国籍：CN

代理机构：北京万慧达知识产权代理有限公司

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