一种板式PECVD设备[实用新型专利]

来源：星星旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种板式PECVD设备专利类型：实用新型专利发明人：陈金元

申请号：CN201921960557.4申请日：20191113公开号：CN211394620U公开日：20200901

摘要：本实用新型公开了一种板式PECVD设备，包括：工艺台，三个所述工艺台从左至右连续贴合设置在一起；装卸载台，两个所述装卸载台分别贴合设置在位于最外侧的两个所述工艺台的外侧；连接机构，两个所述连接机构分别固定安装在工艺台前后两端的右侧壁面和位于工艺台左侧的装卸载台前后两端的右侧壁面；固定机构，两个所述固定机构分别固定安装在工艺台前后两端的左侧壁面和位于工艺台右侧的装卸载台前后两端的左侧壁面与连接机构相对应位置。该板式PECVD设备，可实现对装卸载台和工艺台进行拼接组装，并且对其拆装十分方便，便于搬运人员的搬运，省时省力，减少搬运人员的劳动强度，满足搬运人员的工作需求，有利于广泛推广。

申请人：理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司

地址：2200 江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧

国籍：CN

代理机构：苏州国卓知识产权代理有限公司

代理人：刘静宇

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