专利名称:平板式PECVD专用镀膜挂件专利类型:发明专利发明人:郭友斌
申请号:CN20121022.5申请日:20120727公开号:CN102766856A公开日:20121107
摘要:本发明涉及一种平板式PECVD专用镀膜挂件。该挂件呈平板式框架结构,所述的框架结构为上面开口的矩形框,其两侧底部对称设置有V形挂钩。本发明的有益效果是,本发明的平板式PECVD专用镀膜挂件,采用V形挂钩,与现有的U形挂钩相比,一方面减小了挂钩体积,节约原材料,降低成本;另一方面,减少了硅片表面的镀膜钩子印面积,提升了电池的转换效率。
申请人:常州亿晶光电科技有限公司
地址:213213 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
国籍:CN
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