基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201220140151.3 （22）申请日 2012.04.05

（71）申请人 上海光芯集成光学股份有限公司

地址 200072 上海市闸北区广中西路777弄14号102室

（10）申请公布号 CN202533603U

（43）申请公布日 2012.11.14

（72）发明人 郑伟伟;王毅强;王明华;杨建义;郝寅雷;商惠琴 （74）专利代理机构 上海科盛知识产权代理有限公司

代理人 蒋亮珠

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片

（57）摘要

本实用新型涉及一种基于玻璃基离子

交换掩埋光波导的集成光学芯片，该集成光学芯片主要由玻璃衬底和离子交换掩埋光波导组成；所述的离子交换掩埋光波导位于玻璃衬底内部，与玻璃衬底上表面的距离为0～7500μm。制法包括以下步骤：镀膜、光刻、腐蚀、去胶、一次交换、二次交换、划片、研磨抛光。与现有技术相比，本实用新型可减小芯片的偏振依赖性以及消除芯片的内部应力，具有寿命长、稳定可靠等优点。 法律状态

法律状态公告日

2012-11-14 2012-11-14 2012-11-14 2018-05-18 2018-05-18 2020-06-19

授权 授权 授权

法律状态信息

授权 授权 授权

法律状态

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移

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权利要求说明书

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说明书

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