专利名称:用于半导体黄光工艺的照明设备专利类型:实用新型专利发明人:涂增鑫
申请号:CN201721651069.6申请日:20171201公开号:CN207750751U公开日:20180821
摘要:本揭示提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备,包含:一盒体,具有一视窗开口;一灯具组,设置在所述盒体内部,用于提供一照明光线;以及一滤光板,装设在所述视窗开口,用于直接承接所述照明光线的照射并吸收通过所述滤光板的所述照明光线中波长小于500纳米以下的光线,以让过滤后的光线用在半导体黄光工艺机台上。
申请人:涂增鑫
地址:中国新竹县竹东镇和江街48号
国籍:TW
代理机构:上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)
代理人:翟羽
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