滑动零件的制造方法及滑动零件[发明专利]

来源：星星旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：滑动零件的制造方法及滑动零件专利类型：发明专利

发明人：北村哲弥,青木彦治,金田英树申请号：CN200410056706.6申请日：20040809公开号：CN1580347A公开日：20050216

摘要：本发明的滑动零件的制造方法及其滑动零件，利用UBM溅射(Unbalanced MagnetronSputtering)而在与基材(27)的表面的滑动部(28)对应的部位连续地形成Cr被膜(29)和DLC被膜(Diamond Like Carbon)(30)，在遮蔽工序中，将具有多个圆形的孔(35)的遮蔽构件(34)大致密接状地外嵌在所述DLC被膜(30)的表面上，在蚀刻工序中，用等离子蚀刻将从遮蔽构件(34)的孔(35)露出的区域的DLC被膜(30)去除，由此，形成作为储油部(32)的凹部(31)。从而，能获得在滑动部上形成多个凹部(31)、可提高该滑动部上的润滑油的保持力进而使非烧结性提高的滑动零件。

申请人：兄弟工业株式会社

地址：日本爱知县

国籍：JP

代理机构：上海专利商标事务所

代理人：谢喜堂

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