专利名称:一种用于单晶硅片清洗的清洗装置专利类型:实用新型专利发明人:陈峰
申请号:CN201821360040.7申请日:20180822公开号:CN20329U公开日:20190604
摘要:本实用新型公开了一种用于单晶硅片清洗的清洗装置,包括清洗槽,所述清洗槽内设有清洗支架,清洗支架包括筒体,筒体表面开有数个均匀分布的小通孔,筒体的内部设有数个隔板,等距分布,隔板之间设有间隙,隔板整体呈环形,筒体的两端设有端盖,端盖设于筒体内部,筒体两端的端盖的外侧中心均固连一个主轴,主轴通过轴承与清洗槽连接,其中筒体左侧的主轴上还设有从动齿轮,从动齿轮与主动齿轮啮合,主动齿轮安装于电机的输出轴上;筒体的下方设有水管;该用于单晶硅片清洗的清洗装置利用筒体装载单晶硅片,不会发生重叠,同时在冲洗时能够利用主轴带动筒体转动使冲洗更加均匀,大大提高清洗效率,值得大力推广。
申请人:浙江众晶电子有限公司
地址:324000 浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号
国籍:CN
代理机构:昆明合众智信知识产权事务所
代理人:钱磊
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- stra.cn 版权所有 赣ICP备2024042791号-4
违法及侵权请联系:TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务