（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201610429964.7 （22）申请日 2016.06.17
（71）申请人 无锡英普林纳米科技有限公司
地址 215000 江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉中三路99号
（10）申请公布号 CN106125502A
（43）申请公布日 2016.11.16
（72）发明人 王晶
（74）专利代理机构 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 许希富
（51）Int.CI
G03F7/00; G03F7/004; G03F7/027;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种纳米压印设备用光刻胶
（57）摘要
本发明公开了一种纳米压印设备用光刻
胶，一种纳米压印设备用光刻胶按重量份数计，其组成为：有机小分子溶剂60‑80份、环氧树脂30‑50份、交联剂1‑5份、稳定剂1‑3份、纳米二氧化硅10‑15份、纳米氧化铝10‑15份、光引发剂1‑5份、光聚合单体1‑2份、助剂1‑3份。本发明
具有表面性能稳定，提高脱模效果，提高压印精度，减少压印缺陷的特点。
法律状态
法律状态公告日
2016-11-16 2016-11-16 2017-05-31 2017-05-31 2020-03-06
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
一种纳米压印设备用光刻胶的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
一种纳米压印设备用光刻胶的说明书内容是....请下载后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容