包括用于多种深度蚀刻的掩模的激光蚀刻系统[发明专利]

来源：星星旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：包括用于多种深度蚀刻的掩模的激光蚀刻系统专利类型：发明专利

发明人：马修·E·苏特,布赖恩·M·埃尔温,尼古拉斯·A·波洛莫

夫,克里斯托弗·L·特斯勒

申请号：CN201580061199.1申请日：20150730公开号：CN107000116A公开日：20170801

摘要：一种激光蚀刻系统包括配置为在蚀刻过程期间生成多个激光脉冲的激光源。相对于激光源对准工件。工件包含响应于接收多个激光脉冲被蚀刻的蚀刻材料。将掩模插入在激光源和工件之间。掩模包括配置为调节由工件实现的激光脉冲的能量密度或数量的至少一个掩模图案，使得在蚀刻材料中蚀刻彼此之间具有不同深度的多个特征。

申请人：苏斯微科光电系统股份有限公司,国际商业机器公司

地址：美国加利福尼亚

国籍：US

代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文