专利名称：一种高灵敏度次声传感器专利类型：实用新型专利发明人：李超,林伟军,崔寒茵申请号：CN201822228481.8申请日：20181227公开号：CN209044067U公开日：20190628
摘要：本实用新型公开了一种高灵敏度次声传感器，包括：次声接收装置和膜振动光纤测量装置两个部分。其中，次声接收装置包括：前腔和后腔；其中，前腔顶面设置有进气口，前腔与后腔之间设有第一开口和第二开口，第一开口处设置有均压管，均压管使前腔与后腔连通，第二开口处设置有膜片，所诉后腔内位于第二开口处设有固定装置。膜振动光纤测量装置包括：光纤、耦合器、光探测器和单色光源，光纤一端通过固定装置固定，且端面与膜片平行，光纤另一端从后腔底面穿出并连接耦合器。运用光学测量膜片的振动信息，突出光学干涉测量位移的高灵敏度，可以测量到膜片纳米级的振动，能够实现次声传感器的高灵敏度。
申请人：中国科学院声学研究所
地址：100190 北京市海淀区北四环西路21号
国籍：CN
代理机构：北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：陈霁
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