一种氧化物体系红外增透保护膜的设计方法[发明专利]

来源：星星旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种氧化物体系红外增透保护膜的设计方法专利类型：发明专利

发明人：李士达,刘华松,姜玉刚,何家欢申请号：CN201911146639.X申请日：20191121公开号：CN111007584A公开日：20200414

摘要：本发明涉及一种氧化物体系红外增透保护膜的设计方法，属于光学薄膜技术领域。本发明设计了一种基于氧化物薄膜体系的红外增透保护膜设计方法，该方法采用YO薄膜为主体薄膜材料、AlO薄膜材料为过渡层、HfO薄膜为最外层保护膜的设计方案，通过匹配三种氧化物实现复合红外增透保护膜的设计。该红外增透保护膜能够实现ZnS红外窗口在7.5μm‑9.7μm波段的高效增透，同时由于AlO薄膜过渡层及HfO最外层保护膜的引入，降低了膜系应力并提高了膜系机械强度，使得该红外增透保护膜在恶劣服役环境下的稳定性得到增强，对于红外光学窗口在精确制导等方面的应用具有重要价值。

申请人：天津津航技术物理研究所

地址：300308 天津市东丽区空港经济区中环西路58号

国籍：CN

代理机构：中国兵器工业集团公司专利中心

代理人：王雪芬

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