光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学膜厚仪[发明专利]

来源：星星旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学膜厚仪专利类型：发明专利发明人：弥谦,杭凌侠,潘永强申请号：CN201410114949.4申请日：20140326公开号：CN103849850A公开日：20140611

摘要：本发明涉及一种光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学薄厚仪。现有技术存在的精度不高、难以得到良好的重复性、后续处理操作繁琐、对设备的稳定程度要求较高和成本高的问题。一种光学薄膜的膜厚监控方法，采用相同膜料进行预镀；调整；消除直流分量；通过数学处理可以得到近似的三角波；非规整膜系光学薄厚仪，包括单一波长的激光光源、比较片、光电探测器、放大器和计算机，出射光光路上有调制器和分束器，比较片上有四片相同膜料进行预镀且薄膜光学厚度分别相差为λ/8的薄膜；光电探测器采用四象限探测器。本发明方法实现非规整膜系的监控，设备测量精度高，信号稳定。

申请人：西安工业大学

地址：710032 陕西省西安市未央区学府中路2号

国籍：CN

代理机构：西安新思维专利商标事务所有限公司

代理人：黄秦芳

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