专利名称：成膜方法专利类型：发明专利发明人：松浦广行,高桥丰申请号：CN03806219.4申请日：20030414公开号：CN13667A公开日：20050720
摘要：成膜方法包括预备阶段(S10)和处理阶段(S20)。在预备阶段(S10)中，根据表示膜厚和处理时间的关系的第一关系式及表示大气压和膜厚的关系的第二关系式，导出用于与大气压相对应来修正处理时间的处理时间修正式(S11～S14)。在处理阶段(S20)中，根据导出了的处理时间修正式及现在的大气压的测定结果，修正处理时间，根据修正了的处理时间，进行成膜(S21～S23)。
申请人：东京毅力科创株式会社
地址：日本国东京都
国籍：JP
代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
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