专利名称：用于表面辐照的装置专利类型：发明专利
发明人：赫尔穆特·哈尔夫曼,阿克塞尔·洪,马库斯·罗特申请号：CN201180052938.2申请日：20111026公开号：CN1031075A公开日：20130703
摘要：为了辐照表面而提出一种具有辐射器的装置（1），其中所述辐射器具有至少一个隧道状的通孔（3）以及机构（8，11），所述机构设计成，使过程气体流过至少一个隧道状的通孔（3）。由此，能够放弃单独的气体输送装置。可选地，所述装置也能够具有辐射器底座（8），所述辐射器底座具有用于输送和/或输出过程气体的至少一个通气口（12）。
申请人：欧司朗股份有限公司
地址：德国慕尼黑
国籍：DE
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
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