专利名称：一种多线切割机砂浆喷流装置专利类型：实用新型专利
发明人：刘咸成,吕文利,刘嘉宾,贾京英,龚杰洪申请号：CN201020548069.5申请日：20100929公开号：CN201841613U公开日：20110525
摘要：一种多线切割机砂浆喷流装置，用于多线切割机批量切割半导体硅片或太阳能硅电池片；它的外套管（1）中固定安装有一端为砂浆入口而另一端封闭的内管（2），内管（2）外壁与外套管（1）内壁之间有环隙（6），内管（2）上部开有沿内管轴线均布的多个小圆孔（7），所述小圆孔（7）连通内管管腔与所述环隙；外套管（1）的下侧沿轴线开有狭缝开口槽（8）。该装置的结构特点和砂浆在装置内流向经多次改变，可提高砂浆流量、密度分布的均匀性，提高了设备的切割生产效率和改善切割硅片的表面质量。
申请人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
地址：410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
国籍：CN
代理机构：长沙正奇专利事务所有限责任公司
代理人：马强
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